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手套箱蒸镀系统

时间:2018-11-28 14:58      发布人:廖燕菲      阅读:10

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负责人:黄文波

放置地点:超净室

设备简介:

手套箱蒸镀系统可以实现有机光电器件的薄膜金属电极制备。可以应用于有机太阳电池,有机发光二极管的研发领域。

技术参数:

1、蒸发室极限真空度:优于5×10-5Pa;

2、蒸发室抽速:40分钟抽至5×10-4Pa;

3、三组水冷电极;两组蒸镀电源;

4、配置膜厚仪实时监控蒸镀膜厚;

5、冷却水循环量1M3/H;

6、配有可与手套箱连接的接口。

7、手套箱水氧指标:小于1ppm