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探针式表面轮廓仪

时间:2018-11-28 14:57      发布人:廖燕菲      阅读:8

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负责人:黄文波

放置地点:超净室

设备简介:

德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率。,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

技术参数:

(1) 最大扫描长度:不小于55mm;

(2)测试高度方向的重复性《6埃(1微米的标准台阶);

(3)垂直分辨率1埃@6.5µm,10埃@65.5µm;

(4) 垂直方向的扫描范围不小于500微米;

(5)光学系统:彩色CCD 166X放大倍率,固定焦距;

(6) 样品台:150mm样品台,XY手动移动载物台,100mm行程;

(7)探针压力: 0.03mg-15mg范围;

(8)测试样品的最大厚度可达到90mm;