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开尔文探针台

时间:2018-10-23 17:05      发布人:廖燕菲      阅读:14

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负责人:黄文波

放置地点:N205

  1. 设备简介

Kelvin探针(振动电容)法是测量接触电势差引起电场变化的信号,不同于电子束阻挡势(二极管)法存在着电子发射和收集过程,而避免了测量本身带来的样品表面条件的变化,通过测量样品和参考电极(其功函数为已知)之间的接触电势差,求出样品的相对功函数。Kelvin探针法对被测材料的适用范围广,并对被测表面没有破坏。

  1. 设备参数
  • 探针直径: 2-5 mm (other user defined tip sizes available)
  • 功函数分辨率: <3 meV
  • 扫描范围: 21 x 21 mm stepper motor controlled
  • 探针移动距离: 100 mm
  • 位置精度: 0.5 micron (Z), 2.5 micron (X,Y)
  • 系统跟踪: Automatic hold of Tip-to-Sample distance to 0.5 microns
  • 可视化: 3D surface potential形貌图