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MB 200MOD+MB-EVAP手套箱

时间:2018-10-23 16:41      发布人:廖燕菲      阅读:6

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负责人:王剑斌

放置地点:超净室

1.设备简介

MB 200MOD+MB-EVAP是国际上生产手套箱系统享有盛誉的德国布劳恩公司的产品。该设备配有高精度的水氧检测控制仪,可以实现水氧自动控制,以保持手套箱内水氧浓度在设定浓度,具有气体自循环系统,可除去箱内有机溶剂,能够保持手套箱内水氧浓度均<1ppm,以保证高分子发光材料所要求的使用环境。集成到M.Braun手套箱中的薄膜蒸镀系统含有操作面板的PLC控制系统,最多时间45分钟内可达真空度3X10-6mbar,可共蒸镀。

2,设备参数

1)单柱气体净化系统

2)SIEMENS PLC控制系统,自动再生程序

3)气体纯度: 水<1ppm,氧<1ppm

4)箱体内压力可在+/-15mbar间自动控制

5)组件:

  • 1台初级真空泵(流量: 12 m3/h, RV12)
  • 1台分子泵TW250并含有控制器(流量为250L/min)
  • 3个热蒸发源,包括电源 2K VA (10V/200A), 1个膜厚测量和控制SQC, 可控制4个源;并包括彩色显示
  • 2 个测厚探头
  • 2个挡板(PLC控制)

1个可旋转的衬底,高度可调