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URE-2000B型光刻机

时间:2018-10-23 16:37      发布人:廖燕菲      阅读:6

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负责人:王剑斌

放置地点:超净室

  1. 设备简介

成都光电所研制的URE-2000B型光刻机是一款是自动化程度和可靠性很高的设备,具有优秀的光源平行性、照明均匀性、光刻分辨力、曝光图形质量;,与普通光刻机相比,它具有以下优点:

  • 操作:更加方便,功能更加完善;既可以触摸开关操作,手感好,参数设置方便。也可计算机操作,设置曝光参数(如曝光时间、曝光间隙、对准间隙)等更加方便,增加汞灯使用时间记录功能,增加个人使用信息(用户名,登录密码,曝光结果存储与查询)。
  • 性能:精度更高;采用专利技术—积木错位蝇眼透镜消衍射,积木错位蝇眼透镜由79个增加109个,长度由18mm增加24mm,实用分辨力可达8-1微米;照明聚光角小(光源平行性好,2º,这是光刻机的重要指标),照明均匀性好,照明均匀性在f100范围可达±4%提高到±3%。
  1. 设备参数
  • 曝光面积:110mm×110mm
  • 分辨力:8mm(胶厚2mm的正胶)
  • 对准精度:±1mm
  • 最大焦厚:600mm(SU8胶,用户提供检测条件)
  • 曝光波长:365nm
  • 光源平行度:2º
  • 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
  • 掩模尺寸:5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
  • 照明均匀性:±3%(f100mm范围)
  • 掩模相对于样片运动行程: X: ±5mm;   Y: ±5mm; q: ±6度
  • 曝光能量密度:>18mW/cm