您现在的位置: 首 页 > 仪器设备 > 仪器介绍

超声波湿法工艺设备Ultrasonic Wet Process Equipment

时间:2014-09-22 07:26      发布人:admin      阅读:193

超声波湿法

设备简介

我单位自行设计的湿法工艺设备,主要用于光刻胶脱膜和lift-off中,共有6个工位。各工位均具备金属薄膜超声波lift-off图形化、光刻胶脱膜、清洗的功能。

 

基本技术参数

基板尺寸:200mm*200mm

批次数量:5片/批

超声功率:0~900W无级调节

药液温度:RT~80 ℃

辅助功能:工艺编程控制、QDR快排清洗