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TFT电学参数测试系统

时间:2015-11-25 10:43      发布人:廖燕菲      阅读:223

TFT电学参数测试系统

设备简介

该系统由半导体信号分析仪和电磁屏蔽探针台组成,用于对TFT器件的电学信号参数进行精确测量和分析。

 

主要技术参数:

最小可测试电极大小:1µm*1µm

电压测试: 范围:±100V            精度:±100µV

电流测试: 范围:±100mA  精度:±10fA

电容测试: 频率范围10k~5M Hz      偏压:±25V       精度:±1pF

脉冲发生器:    最大高度:±40V      最小宽度:25nS±2.5nS