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扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope

时间:2015-11-25 10:36      发布人:廖燕菲      阅读:260

扫描电镜

设备简介

扫描电镜是以电子束作为光源,电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜,在末级透镜上部扫描线圈的作用下,在试样表面做光栅状扫描,产生各种同试样性质有关的物理信息(如二次电子,背反射电子),然后加以收集和处理,从而获得表征试样形貌的扫描电子像,可用于试样的形貌、成分分析。附设X射线能量色散谱仪(EDS),主要是用来分析材料表面微区的化学成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。

 

基本技术参数

光源:钨灯丝

加速电压:200V~30kV

放大倍率:5×~100000×连续可调

分辨率:高真空二次电子像<3.0nm(30kV);低真空背散射电子像<4.0nm(30kV)

EDS元素探测范围:Be(4)~Pu(94)